光刻技术是半导体制造过程中至关重要的一环,它对于成品的质量与性能起着决定性作用。为了确保光刻过程的高效与安全,采用高质量的滤光片和过滤器至关重要。本文将介绍诚翔滤光片及过滤器的特点与优势,以及它们在光刻过程中的应用。
诚翔滤光片与过滤器系列
诚翔公司推出了一系列滤光片与过滤器产品,包括:
· AB1F1003EH1、AB1F0503EH1和AB1F0103EH1滤光片与滤芯
· AB04F0023EH1滤光片、MPF2230F002EH1光刻过滤器和MPF2230F001EH1滤芯
· MPF4463F002EH11滤光片、MPF4463F002EH1光刻过滤器和MPF2230F001EH1滤芯
这些产品均采用先进的全氟聚合物结构,具有出色的兼容性、高温高压能力、高流速和低萃取物等特点。
Emflon PF过滤器
Emflon PF过滤器是一款采用全氟聚合物结构的高效过滤器,通过褶皱过滤介质来实现过滤效果。它专为过滤腐蚀性工艺流体而设计,具有以下特点:
1. 出色的兼容性:全氟聚合物结构使得Emflon PF过滤器在各种化学环境中具有卓越的稳定性和兼容性。
2. 高温高压能力:Emflon PF过滤器可以承受高温高压环境,满足严苛的工艺条件需求。
3. 高流速:褶皱过滤介质设计使得Emflon PF过滤器具有较高的流速,保证工艺流体的快速过滤。
4. 低萃取物:Emflon PF过滤器在洁净室环境中制造,确保产品的纯净度,降低萃取物的产生。
5. 100%完整性测试:每一个Emflon PF过滤器都经过严格的完整性测试,确保产品的质量与性能。
6. 极高的抗塌陷性:在185 °C 的高温环境下,Emflon PF过滤器的独特滤芯仍具有极高的抗塌陷性,保障工艺流体的安全过滤。
诚翔滤光片及过滤器在光刻过程中的应用
在半导体光刻过程中,高质量的滤光片与过滤器能够有效保障光源的稳定性、过滤杂质以及维护光刻设备的正常运行。诚翔滤光片及过滤器,凭借其出色的性能与可靠的品质,已经成为众多半导体制造企业的首选。
总之,诚翔滤光片及过滤器系列凭借其稳定的性能、高效的过滤能力以及优异的兼容
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