南大光电：ArF光刻胶有少量供货，尚未规模量产
3月14日，南大光电在互动平台上表示，ArF光刻胶有少量供货，尚未规模量产。公司正在研发和产业化的ArF光刻胶可以应用于90nm~28nm的制程工艺。
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