南大光电：ArF光刻胶有少量供货，尚未规模量产
3月14日，南大光电在互动平台上表示，ArF光刻胶有少量供货，尚未规模量产。公司正在研发和产业化的ArF光刻胶可以应用于90nm~28nm的制程工艺。
- 发表于:
- 原文链接：https://kuaibao.qq.com/s/20230314A09XH200?refer=cp_1026
- 腾讯「腾讯云开发者社区」是腾讯内容开放平台帐号（企鹅号）传播渠道之一，根据《腾讯内容开放平台服务协议》转载发布内容。
- 如有侵权，请联系 cloudcommunity@tencent.com 删除。
相关快讯
扫码
添加站长 进交流群
领取专属 10元无门槛券
私享最新 技术干货
腾讯云开发者
