精测电子：子公司半导体设备及准分子激光器项目正处于研发阶段

集微网消息（文/白雨轩）3月9日，精测电子在投资者互动平台表示，公司子公司北京精测半导体装备有限公司半导体设备及准分子激光器项目目前正处于研发阶段，半导体设备及准分子激光器项目建设进度按计划推进中。

据介绍，目前上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产。上海精测膜厚产品（含独立式膜厚设备）、电子束量测设备已取得国内一线客户的批量订单；明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单；OCD设备获得多家一线客户的验证通过，且已取得部分订单；半导体硅片应力测量设备也取得客户订单，其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。

在Micro-OLED领域，从晶圆段到模组段，精测电子可以提供全制程检测、修复设备以及关键光学仪器仪表等相关产品，包括晶圆外观缺陷检测与关键尺寸量测设备、ATE及信号驱动检测设备、显示缺陷检测和光学评价系统、Gamma Tuning显示调校与Mura修复设备以及集成上述功能的一体化解决方案；应用于Micro-OLED检测与显示调校关键光学仪器仪表，包括色彩分析仪、成像式闪烁频率测仪、成像式亮度色度仪、高精度面阵光谱仪、AR/VR量测仪、Micro-OLED微显示多功能亮色度测量仪等多款仪器仪表核心器件及精密压接治具等。

因半导体检测设备验证周期长短受设备类型、客户要求、现场环境等多方面因素的影响，现阶段行业验证周期普遍在6-18个月左右；目前设备的交付周期普遍在6个月以上，国外厂商的交付周期一般长达12个月以上。

（校对/黄仁贵）