海目星（688559.SH）：公司攻克的一次激光硼掺杂工艺是TOPCon技术的关键工艺

格隆汇3月6日丨海目星(688559.SH)于2023年2月9日9:00-11:00/2023年2月13日13:30-15:00接受机构调研时表示，目前公司光伏行业的主要的输出产品是TOPConSE微损设备。TOPCon电池的制备工序包括清洗制绒、正面硼扩散、BSG去除和背面刻蚀、氧化层钝化接触制备、正面氧化铝沉积、正背面氮化硅沉积、丝网印刷、烧结和测试分选，约12步左右。其中，氧化层钝接结构制备为TOPCon在PERC的基础上增加的主要工序，也是TOPCon的核心工序，工艺路线大致分为LPCVD本征+磷扩(低压力化学气相沉积法)、PECVD原位掺杂、PVD原位掺杂(即物理气相沉积法)。

要做TOPCon，钝接结构制备是基础，但要做好TOPCon，正面硼扩散是相关企业要解决的最大挑战。

目前业内主要扩散工艺有一次激光掺杂、二次激光硼扩、丝网印刷等，但后两者都存在工艺原理上的缺陷，二次硼扩成本、耗能、耗时“三高”，操作繁琐，丝网印刷精度不足，因此一次激光掺杂被业内视为工艺难度最大却也是最优的解决方案。

公司攻克的一次激光硼掺杂工艺是TOPCon技术的关键工艺，提升效率的同时，能够有效降低成本。