传感器在粗糙度测量以及轮廓检测领域中的应用

自1929年表面粗糙度微观测试的定量标准出现，诸多国家的粗糙度检测技术开始了快速发展阶段，我国是在1956年制定了最早的表面光洁度标准，后续数十年的发展，粗糙度测量技术的提升为精密和超精密加工技术行业带来了很大的帮助，也为我国国民的生活品质带来了很大的提升。

针对表面粗糙度测量的设备主要可以分为两类，分别是接触式以及光学非接触式。

接触式粗糙度测量仪：测头采用电感式传感器，当驱动器带动传感器沿工件被测表面作匀速运动时，传感器的测针随工件表面的微观起伏作上下运动，测针的运动经过传感器转换为电信号的变化，电信号的变化再经过后期电路的处理和计算，得到工件表面粗糙度参数值。

光学非接触式粗糙度测量仪：测头采用光学式传感器，LED光源通过多针孔盘（MPD）和物镜聚焦到样品表面上，从而反射光。反射光通过MPD的针孔减小到聚焦的部分落在CCD相机上，通过多针孔盘的操作在几秒内捕获200到400个共焦图像，之后系统从共焦图像的堆栈重建高清的三维高度图像。

两类设备各有优劣，接触式测量作为传统的检测方法，在目前的工业领域当中应用还是十分广泛；光学检测作为科技创新的结晶，具有更高的精度以及更快的效率，但是在耐用性以及稳定性方面与传统接触式测量还有所差距。

由LVDT位移传感器充当测头的接触式粗糙度测量仪主要特点在于0.1μm的高精度以及强大的稳定性，在温度、磁场、压力等各种因素的影响下能够保障稳定的测量效果；

由激光式位移传感器充当测头的非接触式粗糙度测量仪能够将测量结果成像，测量精度能够达到0.1μm，最快1秒成像。

和伍高精度LVDT位移传感器的测量结果能够符合 ISO4287（1994,2001），能够测量 Ra、Rz 等，也能够测量符合 ISO25178 标准的 Sa、Sz 等各类的表面粗糙度。 由于通过多点进行测量，因此可获取更稳定的测量结果。涵盖共 42 种参数。