QFGT三轴超精密气浮运动台

QFGT三轴超精密气浮运动台

产品特点

背景介绍

    随着半导体行业的不断发展，相应的加工检测设备的性能相应提高，我司在运动控制上有着丰富的制造经验，推出了一款大行程的QFGT系列三轴精密气浮运动台用于晶圆激光加工。同时可应用于激光加工、CCD成像、LED封装检测、晶圆检测以及其它高端制造等行业。

定制化设计

    我司制造的大行程三轴气浮运动台用于晶圆激光加工行业，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择。这种结构可接受定制大行程，增加多工位，提升工作效率。

    底轴Y轴用于微动调整步进，气浮结构保证了高直线度。上轴X轴搭载激光用于快速扫描切割晶圆，高平面度指标保证了理想的切割直线，同时能够实现高动态响应和快速位置整定，Z轴采用低摩擦气缸配重，用于微调整，气浮结构有效的提升了垂直方向上的性能，行程可定制。

    大理石龙门结构设计，刚性好，稳定性高。大理石基座上可以增加多个Y轴，龙门架X轴行程可定制，提升工作效率。

    精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。

    整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。