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晶圆修边处理后,晶圆 TTV 变化管控

关键词:晶圆修边;TTV 变化;工艺参数;设备改进;检测反馈一、引言晶圆修边是半导体制造过程中的重要环节,可去除晶圆边缘的缺陷与多余材料,降低后续工艺中晶圆破裂风险。...但修边处理会使晶圆边缘受力,内部应力重新分布,导致 TTV 发生变化,影响晶圆平整度和芯片制造精度。因此,研究晶圆修边处理后 TTV 变化的管控方法具有重要意义。...二、TTV 变化管控方法2.1 修边工艺参数优化修边工艺参数直接影响晶圆 TTV 变化程度。...此外,刀具与晶圆的接触角度也需精确调整,合适的接触角度能使修边力均匀分布在晶圆边缘,降低因受力不均导致的 TTV 变化 。2.2 设备改进对晶圆修边设备进行优化可有效管控 TTV 变化。...同时,在设备上安装高精度的压力传感器,实时监测修边过程中晶圆所受压力,一旦压力异常,系统自动调整修边参数,防止因压力过大造成晶圆变形,进而影响 TTV 。

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