白光干涉仪与原子力显微镜测试粗糙度的区别解析

引言

表面粗糙度作为衡量材料表面微观形貌的关键指标，其精准测量在精密制造、材料科学等领域具有重要意义。白光干涉仪与原子力显微镜（AFM）是两类常用的粗糙度测试工具，二者基于不同的测量原理，在测试范围、精度及适用性上存在显著差异。明确这些差异对于选择合适的测量方法、保障数据可靠性具有重要价值。

测量原理的本质差异

白光干涉仪的测量原理

白光干涉仪基于光学干涉现象实现粗糙度测量。宽光谱白光经分光镜分为参考光与物光，参考光经固定参考镜反射，物光照射样品表面后反射，两束光在接收端形成干涉条纹。由于白光相干长度极短（通常小于 20μm），仅样品表面特定高度层能产生清晰条纹。通过垂直扫描参考镜，记录各点干涉信号的强度包络，其峰值位置对应表面各点高度，最终通过算法计算出 Ra、Rz 等粗糙度参数。

原子力显微镜的测量原理

原子力显微镜依赖探针与样品表面的原子间相互作用力（如范德华力）进行测量。微悬臂末端的纳米级探针贴近样品表面扫描时，表面起伏会导致悬臂偏转，通过光学检测系统（如激光反射）捕捉偏转信号，转化为表面高度数据。其测量过程本质是机械接触或非接触式的 “逐点扫描”，通过三维坐标重构实现粗糙度分析。

测试范围与分辨率的差异

空间尺度覆盖

白光干涉仪的横向测量范围通常为数十微米至数毫米，可对较大面积的表面粗糙度进行整体评估，适合反映表面宏观粗糙度特征。原子力显微镜的横向扫描范围较小，通常为纳米至微米级（最大约 100μm），更擅长捕捉局部微观区域的精细粗糙度，如纳米级凸凹结构。

在垂直分辨率方面，白光干涉仪可达 0.1nm，能满足多数精密加工表面的测量需求；原子力显微镜的垂直分辨率更高，可达皮米级（10⁻¹² 米），适合超光滑表面或纳米尺度粗糙度的极端精密测量。

粗糙度参数的适用性

白光干涉仪可高效计算 Ra（算术平均偏差）、Rz（轮廓最大高度）等常规粗糙度参数，且因测量面积较大，数据更能反映表面粗糙度的统计平均特性。原子力显微镜除常规参数外，还可通过局部扫描获取更精细的参数（如纳米级峰谷距），但受限于测量面积，数据可能存在局部代表性偏差。

测试效率与环境要求

测试速度与操作复杂度

白光干涉仪采用光学并行检测，单次扫描即可获取大面积表面数据，测量速度较快（通常数秒至数十秒完成一次测量），且自动化程度高，操作人员经简单培训即可上手。原子力显微镜采用逐点扫描模式，测量速度较慢（获取一幅微米级范围图像需数分钟），且对扫描参数设置（如探针力、扫描速率）要求严格，操作复杂度较高。

环境适应性

白光干涉仪受环境振动、温度波动影响较大，需在恒温（±0.5℃）、防震条件下工作，否则易导致干涉条纹失真，影响粗糙度计算精度。原子力显微镜虽对振动也较敏感，但因测量尺度小，对环境的整体稳定性要求略低于白光干涉仪，部分型号可在普通实验室环境中使用。

样品适用性的差异

样品类型限制

白光干涉仪要求样品表面具有一定反射率，对透明或高吸收率材料（如黑色橡胶）需进行表面处理（如喷金）才能获得有效信号，且难以穿透表面覆盖层测量基底粗糙度。原子力显微镜对样品反射率无要求，适用于导体、半导体、绝缘体等各类材料，且可直接测量柔软、黏性表面（如生物材料）的粗糙度，只需避免探针污染或样品损伤。

表面形态适应性

对于具有较深沟槽或陡峭坡度的表面，白光干涉仪可能因光学阴影效应导致数据缺失；原子力显微镜的探针可深入纳米级沟槽，更适合复杂形貌表面的粗糙度测量，但探针磨损可能影响陡峭区域的测量精度。

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（以上数据为新启航实测结果）

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