除了经典迈克尔逊白光干涉外，Mirau 型干涉（米劳干涉）的测量原理

引言

在光学干涉测量技术不断发展的进程中，经典迈克尔逊白光干涉有着重要地位，而 Mirau 型干涉（米劳干涉）凭借独特的设计与测量原理，在微观表面形貌测量等领域展现出强大的应用潜力。深入了解其测量原理，有助于更好地发挥该技术在精密测量中的作用。

光路结构与光源传播

Mirau 型干涉仪的核心部件是一个特殊的 Mirau 干涉物镜，该物镜集成了分光和干涉功能。光源发出的光经照明系统准直后，垂直入射到 Mirau 干涉物镜上。在物镜内部，光首先遇到一个半透半反的分光膜，一部分光透过分光膜后照射到被测样品表面，反射回来再次经过分光膜；另一部分光则被分光膜反射，射向物镜内的参考反射镜，经参考反射镜反射后，也回到分光膜处 。

干涉条纹形成过程

从被测样品表面反射的光和从参考反射镜反射的光在分光膜处相遇，满足相干条件从而发生干涉。由于被测样品表面形貌存在起伏，不同位置处反射光的光程不同，与参考光形成的光程差也各异，这种光程差的差异使得干涉光的强度分布不同，进而形成干涉条纹。若样品表面平整，干涉条纹均匀分布；若存在微观凸起或凹陷，干涉条纹会出现弯曲、扭曲，这些变化直观地反映了样品表面的形貌特征。

测量与数据处理

利用图像采集设备获取干涉条纹图像后，通过计算机图像处理技术对条纹进行分析。基于干涉条纹的分布情况和已知的光源波长等参数，采用特定的算法，能够计算出样品表面各点的高度信息。通过对大量测量点高度数据的整合，最终实现对样品表面微观形貌的精确测量，在微纳制造、材料表面检测等领域，为评估样品表面质量提供了有力的数据支持 。

TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪

一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪

1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。

2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。

3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。

实际案例

1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm

2，毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描

3，卓越的“高深宽比”测量能力，实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。